정의

• 시트 저항
• 반도체 필름이나 금속 필름의 단위 면적당 저항을 말합니다.
• 시트 저항은 필름 두께 및 재료 특성에만 관련됩니다.

• R-저항 -Ω, ρ- 저항률 Ω.cm, L-길이 -cm, S- 면적 -cm²
• RS=ρ/d
• Rs 시트 저항 -Ω/sq, ρ- 저항률 -Ω.cm, d- 두께 -cm

선형 4개 프로브 테스트 원리

• S 간격이 동일한 4개의 프로브
•  
• 프로브는 적절한 압력을 가하고 실리콘 웨이퍼에 수직으로 떨어지면서 저항 접촉을 형성합니다.
• 테스트 루프를 형성하기 위해 두 개의 외부 프로브(1,4) 사이에 전류(I)가 적용됩니다.
• 2개의 중간 프로브(2,3)를 고임피던스 정밀 전압계에 연결하고 전위차 V를 측정합니다.

샘플 직경이 40s보다 크고 두께가 d>5s인 경우 가장자리 효과 보정 계수와 두께 보정 계수는 모두 1이며 저항률 계산 공식은 다음과 같습니다.

ρ=2πsV/I

매우 얇은 샘플의 경우 두께(W)가 프로브 간격(s)(w/s)보다 훨씬 작습니다.<0.5), 수평 차원이 무한한 경우:

• 등거리 프로브 테스트의 경우 프로브 간격은 측정 결과와 무관하며 저항률은 측정 샘플의 두께(W)에 비례합니다.
• 4.5324 - 시트 저항 보정 계수라고도 함

시트 저항(Sheet resistance)은 정사각형 표면을 가진 반도체의 얇은 층으로 전류 방향으로 저항을 나타냅니다.

• RS=ρ/Xj=4.5324V23/I
• Xj, 접합 깊이

선형 4개 프로브 방법의 장점과 단점:

장점:

• 테스트 이론은 간단하고 성숙하며 실제 테스트 후에는 신뢰할 수 있습니다.
• 테스트 정확도는 동일한 조건에서 다른 프로브 방법보다 높습니다.
• 테스트 웨이퍼의 크기에는 엄격한 요구 사항이 없으며 불규칙한 모양이나 두께의 웨이퍼를 테스트하는 데 사용할 수 있습니다.

불리

• 테스트 중인 웨이퍼가 손상되거나 오염되기 쉬운 접촉 테스트입니다.
• 테스트는 안정적인 오믹 접촉을 형성해야 하며, 특히 여러 지점을 테스트할 때 테스트 시간이 길어집니다.
• 접촉 테스트에는 더 높은 웨이퍼 접촉 표면이 필요합니다.

도핑 농도와 저항률의 변환

P형 실리콘용

• ρ-저항률, N-도핑 농도

N형 실리콘용