n-TOPCon 태양전지는 독특한 초박막 이산화규소(SiOx) 층과 n+ 다결정 실리콘(poly-Si) 층으로 인해 주목을 받고 있으며, 이는 낮은 재결합 전류 밀도(J0)와 감소된 접촉 저항을 달성하는 데 도움이 됩니다.ρ기음).

레이저 향상된 접촉 최적화(LECO) 프로세스 기존의 고온 소결 공정을 대체하여 주류 기술로 자리 잡고 있습니다. LECO 공정에서 다양한 변수(소결 온도, 레이저 출력, 역전압)가 금속 접촉 재결합 전류 밀도, 접촉 저항률 및 IV 특성에 미치는 영향을 연구했습니다. 790°C의 소결 온도에서 최대 효율 25.97%를 달성했습니다.°C, 레이저 출력은 18W이고 역전압은 16V입니다.

재료 및 방법

n-TOPCon 태양전지 구조 및 LECO 공정의 개략도

n-TOPCon 태양 전지 구조: 전면에 p+ 에미터, Al2O3 및 SiNx 수동화 층, 후면에 SiOx 및 n+ 폴리-Si 층을 포함합니다.

LECO 프로세스 흐름:

레이저 조사: 적외선 레이저(파장 1064nm, 전력 18-24W)를 사용하여 전면을 전체 폭으로 스캔하고 레이저 에너지는 피라미드 질감의 끝부분에 집중됩니다.

역전압 인가: 레이저 작용 중 10~20V의 역전압을 인가하여 광생성 캐리어(전자와 홀)의 방향성 이동을 유도하고 은(Ag)과 실리콘(Si)의 상호 확산을 촉진합니다.

접촉 최적화 메커니즘: 직접 은-실리콘 접촉: 레이저에 의해 유도된 국부 고온으로 인해 은 페이스트의 은이 실리콘과 직접 접촉하여 접촉이 감소합니다. 인터페이스 저항.

유리층 내의 나노실버 콜로이드: 레이저와 역전압으로 인해 은이 유리층 내에 전도 네트워크를 형성하여 터널링 효과를 통해 전류를 전달합니다.