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단결정 실리콘 웨이퍼의 텍스처링 효과에 영향을 미치는 요인

단결정 실리콘 웨이퍼의 텍스처링 효과에 영향을 미치는 요인
Feb 19, 2024

태양전지 생산 공정에서 세정과 텍스처링은 중요한 연결고리 중 하나입니다. 최적화 및 기술 업그레이드 텍스처링 프로세스 태양전지의 변환 효율을 높이고 생산 비용을 절감할 수 있습니다. 텍스처링 스웨이드의 형성은 NaOH 농도, 체류 시간, 공정 중 온도 및 기타 요인의 영향을 받습니다.

왜 이렇게 실리콘 웨이퍼 텍스처링이 필요합니까?

첫째, 세정과 텍스처링을 통해 실리콘 웨이퍼 표면의 얼룩을 제거하고 불량품 발생을 줄일 수 있다. 둘째, 더 나은 피라미드는 작고 균일해야 하며 전체 실리콘 웨이퍼 표면을 덮어야 합니다. 이는 실리콘 웨이퍼 표면적을 증가시키며 이는 또한 PN 접합 영역의 증가를 의미합니다.

가장 중요한 것은 텍스쳐링이 고르지 못한 질감의 표면을 형성할 수 있다는 점인데, 이로 인해 광포획 효과가 발생하고, 실리콘 웨이퍼의 태양광 흡수가 증가하며, 실리콘 표면의 광반사율이 감소하고, 단락 전류 Isc가 증가하여, 태양광 효율이 극대화된다. 빛의 활용. 전기에너지로 변환됩니다.

텍스처링에 대한 최상의 결과

적절한 부식 속도에서는 핵 생성과 성장이 균형을 이루어 적절한 크기의 피라미드 구조를 형성하고 구조가 완성되며 전체 실리콘 웨이퍼 표면에 조밀하게 분포됩니다. 이때 피라미드 구조는 상대적으로 최적화되어 반사 방지 효과가 가장 좋습니다.

부식률이 높으면 핵생성보다 피라미드의 성장이 더 커지며 텍스처 구조가 큰 피라미드가 되고 표면에 핵이 없는 영역이 있게 됩니다. 피라미드 사이의 간격은 표면 반사율을 증가시킵니다. 부식 속도가 너무 낮으면 피라미드 핵생성은 성장보다 커져 불완전하고 조밀하며 쌓인 피라미드로 나타납니다.

부식 속도는 세 가지 반응 속도에 의해 결정됩니다. 하나는 부식된 물체의 표면으로의 부식성 액체의 이동 속도입니다. 두 번째는 부식성 액체와 부식된 물체 표면 사이의 화학 반응의 반응 속도입니다. 세 번째는 부식된 물체의 표면에서 제품의 이동 속도입니다. 출발율.

 

 

텍스처링에 영향을 미치는 요소

1.NaOH 농도의 영향

 

NaOH 농도는 실리콘 웨이퍼의 반응 속도에 중요한 영향을 미칩니다. 텍스처링 공정에서 사용되는 NaOH 농도는 낮은 알칼리 농도이므로 NaOH 농도가 증가할수록 실리콘 웨이퍼의 부식속도는 상대적으로 증가한다. 동시에 NaOH 농도가 변하면 실리콘 웨이퍼 반응의 AF도 변합니다. 따라서 NaOH 농도도 피라미드의 피라미드 각도에 중요한 영향을 미칩니다.

2. 온도 효과

 

온도가 너무 높으면 반응 AF 값이 감소하고 스웨이드 표면의 연속성이 감소하며 부식 속도가 너무 빨라 제어가 어려워집니다.

온도가 너무 낮으면 부식 속도가 너무 느려지고 텍스처링 주기가 길어집니다. 일반적으로 텍스처링 온도는 75°C~85°C로 제어됩니다.

 

3. 시간적 영향

 

텍스처링에는 피라미드 핵생성 및 성장 과정이 포함되므로 텍스처링 시간은 텍스처의 형태와 실리콘 웨이퍼 부식 정도에 중요한 영향을 미칩니다.

뜨겁고 농축된 알칼리로 손상된 층을 제거한 후 실리콘 웨이퍼 표면에 많은 부식 구멍이 남습니다.

가열된 저농도 알칼리 텍스처링 액체에서:

1분 후, 비가 내린 죽순처럼 피라미드가 산발적으로 돋아났다.

5분 후, 실리콘 웨이퍼의 표면은 기본적으로 작은 피라미드로 덮여 있으며, 몇 개가 성장하기 시작했습니다. 우리는 스웨이드 표면 피라미드 핵형성의 초기 단계에서 이러한 변화를 부릅니다.

10분 후, 조밀한 피라미드형 스웨이드 표면이 형성되었으나 크기가 고르지 않고 반사율도 상대적으로 낮은 수준으로 떨어졌습니다.

시간이 지남에 따라 피라미드는 바깥쪽으로 팽창하고 합체되며, 부피는 점차 팽창하고 크기는 균일해지는 경향을 보인다. 시간이 너무 길면 스웨이드 구조의 균일성이 감소합니다.

 

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