TOPcon 태양전지의 광전 전환율을 근본적이고 직접적으로 향상시키기 위해, 셀 제조업체는 일반적으로 태양전지 표면에서 산화 어닐링 공정을 수행하여 증착된 박막 재료가 더 높은 제곱 저항/비저항을 갖도록 해야 합니다. 산화어닐링 공정은 TOPcon 태양전지의 성능에 영향을 미치는 중요한 공정입니다.

에 대한 심층적인 이해 TOPcon 태양전지

TOPcon 태양전지는 터널링 산화물 패시베이션 컨택을 기반으로 한 고효율 태양전지 기술로, 셀 구조는 N형 실리콘 기판 셀이며, 셀 뒷면에 초박형 실리콘 산화물 층을 마련한 후, 도핑된 실리콘의 얇은 층이 증착되어 함께 패시베이션 접촉 구조를 형성합니다. 이러한 박막 물질을 증착함으로써 표면 재결합과 금속 접촉 재결합을 효과적으로 감소시킬 수 있으며, 태양전지의 개방전압과 충전율을 높일 수 있다.

TOPcon의 특성에 대한 산화 어닐링의 영향

산화규소 박막층의 두께와 품질은 TOPcon 태양전지의 성능에 영향을 미치는 중요한 요소이다. 실리카 박막층의 두께와 품질은 터널링 효과의 강도를 결정하며, 이는 다시 캐리어의 선택적 수집 및 재결합 손실에 영향을 미칩니다. 일반적으로 실리카 필름이 더 얇고 균질하며 결함이 없을수록 터널링 효과가 강해지고 캐리어의 선택적인 수집이 좋아지며 재결합 손실이 작아지고 TOPcon 태양전지의 광전 변환율이 높아집니다. 그러나 실리카 필름은 너무 얇아서는 안 됩니다. 그렇지 않으면 경계면의 상태 밀도가 증가하고 패시베이션 효과가 감소합니다. 따라서 터널링 효과와 패시베이션 효과의 균형을 맞추기 위한 최적의 산화규소 두께를 찾는 것이 필요합니다.

다양한 온도에서의 어닐링이 태양전지 성능에 미치는 영향

어닐링 온도와 시간 역시 TOPcon 태양전지의 성능에 영향을 미치는 중요한 요소이다. 어닐링 온도와 시간은 결정화 정도, 도핑 농도, 도핑된 실리콘층의 분포를 결정하며, 이는 다시 캐리어의 수송 성능과 접촉 저항에 영향을 미칩니다. 일반적으로 어닐링 온도가 높을수록, 시간이 길수록, 도핑된 실리콘 층의 결정성이 높아지고, 활성화되고, 부동태화되고, 캐리어의 수송 성능이 좋아지며, 접촉 저항이 작아지고, 광전 변환율이 높아집니다. TOPcon 태양전지. 그러나 어닐링 온도와 시간은 너무 높거나 길어서는 안 됩니다. 그렇지 않으면 실리콘 산화막이 파괴되고, 도핑된 실리콘 박층이 과도하게 확산되고, 금속 전극의 변형 및 기타 부작용이 발생할 수 있습니다. 따라서, 도핑된 실리콘층의 결정화, 활성화 및 패시베이션 효과의 균형을 맞추기 위한 최적의 어닐링 온도 및 시간을 찾는 것이 필요하다.